▶ 연구소 운영계획
▣ 산업계 수요분석, 수요기반 교육 및 인재양성 프로그램 운영
▣ 반도체 8대 공정 기반의 차세대반도체 분야 인프라(FAB) 구축 및 운영
▣ 차세대 반도체 분야 소재, 소자, 공정, 장비 전문 연구 수행
▣ 시스템반도체, 메모리반도체, 지능형반도체 등의 차세대 반도체의 장비·소재부품 산업 발전을 위해 산학연 유기적 협조체제 구축
▣ 중소/중견기업 향(向) 전문인력 양성 및 공급 목적 수행