첨단 열·냉동 융합 연구실
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첨단 열·냉동 융합 연구실
- 연구실 소개
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첨단 반도체 산업의 발전과 함께 공정 정밀도 향상 및 집적도 증가는 공정 중 발생하는 열을 보다 정밀하고 안정적으로 제어할 것을 요구하고 있다. 특히 식각 및 플라즈마 공정과 같이 고열이 발생하는 공정에서는 –80°C 이하의 초저온 영역에서 빠른 응답성과 높은 온도 안정도(±0.1°C 이하)를 동시에 만족하는 냉각 시스템이 필수적이다. 이러한 초저온 칠러는 기존 산업용 냉동시스템에 비해 높은 압축비와 대용량 압축기를 요구하며, 시스템의 대형화와 효율 저하라는 한계를 내포하고 있다. 이와 같은 한계를 극복하기 위하여 연구실에서는 초저온 시스템에 관련된 열역학적 특성분석과 혼합냉매 조성비 최적화를 통해 시스템 성능을 향상시키는 연구를 이론 및 실험적으로 수행하고 있다. 이를 통해 산업 적용이 가능한 고효율·고안정성 초저온 칠러 시스템 설계 기반을 구축하고 있다. |